| 主权项 |
共烧结构的电导率传感器，其特征在于，它包括上极板(1)、下极板和极板间基片(3)；所述上极板(1)和下极板结构相同，上极板和下极板镜像对称固定在极板间基片(3)的上表面和下表面形成“凹”字形结构；上极板和下极与极板间基片(3)连接的一端为固定端，另一端为悬空端；上极板(1)由五个极板基片组成；所述五个极板基片重叠放置，从上至下依次为第一极板基片(1‑1‑1)、第二极板基片(1‑1‑2)、第三极板基片(1‑1‑3)、第四极板基片(1‑1‑4)和第五极板基片(1‑1‑5)；第一极板基片(1‑1‑1)的悬空端的上表面设置有N个电极(1‑2)，第三极板基片(1‑1‑3)的上表面设置有N根引线(1‑3)，第五极板基片(1‑1‑5)的下表面设置N个输出电极(1‑4)，第一极板基片(1‑1‑1)、第二极板基片(1‑1‑2)、第三极板基片(1‑1‑3)、第四极板基片(1‑1‑4)和第五极板基片(1‑1‑5)分别设置N个过孔，所述过孔为各自基片的上表面至下表面通透的孔，所述通透的孔内设置有导电金属；所述N个电极(1‑2)分别通过第一极板基片(1‑1‑1)上的N个过孔和第二极板基片(1‑1‑2)上的N个过孔与第三极板基片(1‑1‑3)上的N根引线(1‑3)连接，第三极板基片(1‑1‑3)上的N根引线(1‑3)分别通过第三极板基片(1‑1‑3)上的N个过孔、第四极板基片上的N个过孔和第五极板基片(1‑1‑5)的N个过孔与第五极板基片(1‑1‑5)下表面的N个输出电极(1‑4)连接。 |
