| 发明名称 | 一种用于测量物体表面形貌的系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于测量物体表面形貌的系统，包括发射端光梳（1）、光学色散元件（2）、显微物镜（3）、二维纳米移动平台（4）、二维精密纳米移动电机（5）、本地振荡光梳（6）、光电探测器（7）、半透半反镜（8），所述发射端光梳（1）产生探测光束依次射向光学色散元件（2）、半透半反镜（8）、显微物镜（3）和放置在二维纳米移动平台（4）上的被测物体，所述探测光束经被测物体反射，沿原光路返回再射向半透半反镜（8），半透半反镜（8）将反射回来的探测光束反射射向光电探测器（7），所述本地振荡光梳（6）用于产生参考光束，所述参考光束经过半透半反镜（8）与反射回来的探测光束一起射向光电探测器（7）。该系统采用飞秒激光光梳光源，为新型的非接触式光学表面形貌成像测量，结合了双光梳拍频探测技术和空间啁啾技术，将空间位置信息测量转换为对探测光频谱可分辨测量，实现更高分辨精度的超灵敏光学表面形貌探测；采用双光梳及纳米移动平台对被测物体扫描，可对被测物体表面实现大面积超灵敏快速成像。 | ||
| 申请公布号 | CN202974203U | 申请公布日期 | 2013.06.05 |
| 申请号 | CN201220598684.6 | 申请日期 | 2012.11.14 |
| 申请人 | 广东汉唐量子光电科技有限公司 | 发明人 | 梁崇智;曾和平;闫明 |
| 分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 中山市科创专利代理有限公司 44211 | 代理人 | 谢自安 |
| 主权项 | 一种用于测量物体表面形貌的系统，其特征在于包括发射端光梳（1）、光学色散元件（2）、显微物镜（3）、二维纳米移动平台（4）、二维精密纳米移动电机（5）、本地振荡光梳（6）、光电探测器（7）、半透半反镜（8），所述发射端光梳（1）产生探测光束依次射向光学色散元件（2）、半透半反镜（8）、显微物镜（3）和放置在二维纳米移动平台（4）上的被测物体，所述探测光束经被测物体反射，沿原光路返回再射向半透半反镜（8），半透半反镜（8）将反射回来的探测光束反射射向光电探测器（7），所述本地振荡光梳（6）用于产生参考光束，所述参考光束经过半透半反镜（8）与反射回来的探测光束一起射向光电探测器（7）。 | ||
| 地址 | 528400 广东省中山市火炬开发区祥兴路6号 | ||