真空原位仪

摘要

本实用新型涉及一种真空原位仪，包括真空泵支架、控制终端装置，所述的真空泵支架上安装机械升降台，所述的机械升降台上固定杜瓦瓶，所述的杜瓦瓶内插U型管，所述的U型管连接截止阀A的一端，所述的截止阀A的另一端连接三通，所述的三通连接吸附气产生装置，所述的三通还连通红外样品池，还包括机械泵，所述的机械泵连接扩散泵，所述的扩散泵下端安装加热炉，所述的扩散泵的上端连通所述的U型管，所述的加热炉、扩散泵固定在所述的真空泵支架上，本实用新型抽速快，体积小，低噪音，操作简单，系统中的高浓度气体或吸附的残余气体都会被处理干净，提高了分析的精度。

主权项

一种真空原位仪，包括真空泵支架、控制终端装置，所述的真空泵支架上安装机械升降台，所述的机械升降台上固定杜瓦瓶，所述的杜瓦瓶内插U型管，所述的U型管连接截止阀A的一端，所述的截止阀A的另一端连接三通，所述的三通连接吸附气产生装置，所述的三通还连通红外样品池，其特征在于，还包括机械泵，所述的机械泵连接扩散泵，所述的扩散泵下端安装加热炉，所述的扩散泵的上端连通所述的U型管，所述的加热炉、扩散泵固定在所述的真空泵支架上。