多压头精密泵

摘要

一种用于输送一种或多种不同工艺流体的泵，包括：若干增压室，所述增压室具有一个工艺流体入口和一个工艺流体出口，所述工艺流体出口耦合至每个增压室的工艺流体阀，所述工艺流体阀用于选择性地阻止和允许工艺流体流经所述增压室；驱动机构，用于将驱动流体泵送至若干驱动流体室，所述驱动机构与所述驱动流体室流体连通，从而允许驱动流体流入每个驱动流体室；至少一个膜片，所述膜片分开每个增压室和相连的驱动流体室，用于分开工艺流体和驱动流体。所述驱动机构排放驱动流体的操作使驱动流体仅流入具有开式工艺流体阀的各个驱动流体室，从而产生泵送。

主权项

一种用于输送若干种不同工艺流体的泵，包括：若干增压室，每个增压室适于独立泵送所述若干种不同工艺流体中的一种工艺流体，每个增压室包括至少一个工艺流体入口和至少一个工艺流体出口，每个增压室的所述至少一个工艺流体出口耦合至每个增压室的至少一个工艺流体阀，所述阀用于选择性地阻止和允许工艺流体流经所述增压室；驱动机构，用于将驱动流体泵送至若干驱动流体室，所述驱动机构与所述若干驱动流体室流体连通，从而允许流入基本不可压缩的驱动流体的每个驱动流体室，所述驱动机构，期望泵送所述若干种不同工艺流体中的一种工艺流体时，其可选择性驱动的所述驱动机构以泵送驱动流体；至少一个膜片，所述膜片分开每个增压室和相连的驱动流体室，用于分开工艺流体和驱动流体；藉此，所述驱动机构排放驱动流体的操作使驱动流体仅流入具有开式工艺流体阀的所述若干驱动流体室中的每一个，从而产生泵送。