基于多自由度电机的光学元件加工及检测平台

摘要

基于多自由度电机的光学元件加工及检测平台，涉及用于光学元件的加工及检测平台。提供一种采用多自由度电机控制取代传统的多个电机共同作用实现多自由度旋转，在简化机床结构的同时可以避免多个电机空间误差叠加并降低检测过程中的运动控制算法的复杂度从而提高检测精度的基于多自由度电机的光学元件加工及检测平台。设有Y轴导轨、Y轴直线电机、横梁、立柱、工件、工作台、电磁吸盘、夹具、联轴器、多自由度电机、电机固定座、滑动板、滑块、X轴导轨、电机连接座、X轴电机、底座、丝杆、丝杆螺母、Z轴导轨、加工/检测工具、Z轴直线电机、加工/检测工具连接座、控制系统。

主权项

基于多自由度电机的光学元件加工及检测平台，其特征在于设有Y轴导轨、Y轴直线电机、横梁、立柱、工件、工作台、电磁吸盘、夹具、联轴器、多自由度电机、电机固定座、滑动板、滑块、X轴导轨、电机连接座、X轴电机、底座、丝杆、丝杆螺母、Z轴导轨、加工/检测工具、Z轴直线电机、加工/检测工具连接座、控制系统；工件通过夹具固定在工作台上，工作台与联轴器相连，联轴器下方接多自由度电机，工件在多自由度电机带动下可以进行三自由度旋转；多自由度电机固定在电机固定座上，电机固定座通过螺栓与底座相连；通过X轴电机、丝杆、丝杆螺母、X轴导轨和滑块实现多自由度电机沿X轴方向的往返运动；所述立柱设于底座上，Z轴导轨和Z轴直线电机设在立柱上，用于驱动横梁沿Z轴方向的往返运动；Y轴导轨和Y轴直线电机设在横梁上，用于驱动探针/抛光工具连接座沿Y轴方向的往返运动；通过横梁及探针/抛光工具连接座的运动实现探针/抛光工具沿Z轴、Y轴的运动；Y轴直线电机、Z轴直线电机、X轴电机和多自由度电机与控制系统连接。