发明名称 一种电阻测试方法
摘要 本发明涉及一种微电子测试领域,尤其涉及一种电阻测试方法,包括被测电阻和测试pad,在测试过程中,利用金属线将两个pad和被测电阻串联,并输出电流I,然后使用探针卡测试两个pad的电压,WAT测试Alg平台计算出两个电压差值的绝对值,然后利用该数值除以电流,即可方便得出被测电阻的电阻值。本发明将传统电阻测试电路串联起来,利用串联电路电流处处相等的原理,只需要测试一次电流即可,同时测试相邻pad的电压,根据算法即可方便得出相邻pad之间被测电阻的电阻值,简化了操作步骤,节省了大量检测时间,同时降低了企业的检测成本。
申请公布号 CN103134990A 申请公布日期 2013.06.05
申请号 CN201310054770.X 申请日期 2013.02.20
申请人 上海华力微电子有限公司 发明人 沈茜;莫保章;娄晓祺
分类号 G01R27/08(2006.01)I 主分类号 G01R27/08(2006.01)I
代理机构 上海申新律师事务所 31272 代理人 竺路玲
主权项 一种电阻测试方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、将N个待测电阻与M个pad串联,形成一串联电路,且该串联电路中相邻的两个所述pad之间均设置有一个待测电阻;其中,M和N均为正整数,且M=N+1;S2、给所述串联电路上电,测量并获取该串联电路中每个所述pad上的电压UM和所述串联电路的电流I;S3、电压值和电流值传输到WAT测试Alg平台,Alg平台根据电阻公式 <mrow> <msub> <mi>R</mi> <mi>N</mi> </msub> <mo>=</mo> <mo>|</mo> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>U</mi> <mi>M</mi> </msub> <mo>-</mo> <msub> <mi>U</mi> <mrow> <mi>M</mi> <mo>-</mo> <mn>1</mn> </mrow> </msub> </mrow> <mi>I</mi> </mfrac> <mo>|</mo> <mo>,</mo> </mrow>得出每个所述待测电阻的阻值。
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