发明名称 一种槽式硅片清洗机及其抛动架
摘要 本实用新型涉及一种槽式硅片清洗机抛动架,包括用于与驱动装置相连的连接法兰和料篮承载端,料篮承载端包括底面骨架、顶面骨架和设置于顶面骨架和底面骨架之间的纵向支撑柱,底面骨架、顶面骨架和纵向支撑柱围成料篮容纳腔,且料篮容纳腔的底面和侧面上均包覆有过滤网。由于料篮容纳腔的底面和侧面上包覆有过滤网,因此在对硅片进行抛动清洗过程中,一旦硅片发生破碎,过滤网将会有效阻止破碎的硅片进入到清洗槽的底部,碎片将停留在抛动架料篮承载端的过滤网内,从而避免碎片对清洗槽底部的排水管路和排水阀所造成的危害,保证了硅片清洗机的正常运行。本实用新型同时还公开了一种安装有上述抛动架的槽式硅片清洗机。
申请公布号 CN202962962U 申请公布日期 2013.06.05
申请号 CN201220667603.3 申请日期 2012.12.05
申请人 英利能源(中国)有限公司 发明人 梁宏健;朱峰;田欢
分类号 B08B3/12(2006.01)I 主分类号 B08B3/12(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 魏晓波
主权项 一种槽式硅片清洗机抛动架,包括用于与驱动装置相连的连接法兰(5)和料篮承载端,其特征在于,所述料篮承载端包括底面骨架(8)、顶面骨架(2)和设置于所述顶面骨架(2)和底面骨架(8)之间的纵向支撑柱(4),所述底面骨架(8)、顶面骨架(2)和纵向支撑柱(4)围成料篮容纳腔,且所述料篮容纳腔的底面和侧面上均包覆有过滤网(1)。
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