发明名称 | 一种槽式硅片清洗机及其抛动架 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种槽式硅片清洗机抛动架,包括用于与驱动装置相连的连接法兰和料篮承载端,料篮承载端包括底面骨架、顶面骨架和设置于顶面骨架和底面骨架之间的纵向支撑柱,底面骨架、顶面骨架和纵向支撑柱围成料篮容纳腔,且料篮容纳腔的底面和侧面上均包覆有过滤网。由于料篮容纳腔的底面和侧面上包覆有过滤网,因此在对硅片进行抛动清洗过程中,一旦硅片发生破碎,过滤网将会有效阻止破碎的硅片进入到清洗槽的底部,碎片将停留在抛动架料篮承载端的过滤网内,从而避免碎片对清洗槽底部的排水管路和排水阀所造成的危害,保证了硅片清洗机的正常运行。本实用新型同时还公开了一种安装有上述抛动架的槽式硅片清洗机。 | ||
申请公布号 | CN202962962U | 申请公布日期 | 2013.06.05 |
申请号 | CN201220667603.3 | 申请日期 | 2012.12.05 |
申请人 | 英利能源(中国)有限公司 | 发明人 | 梁宏健;朱峰;田欢 |
分类号 | B08B3/12(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/12(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 魏晓波 |
主权项 | 一种槽式硅片清洗机抛动架,包括用于与驱动装置相连的连接法兰(5)和料篮承载端,其特征在于,所述料篮承载端包括底面骨架(8)、顶面骨架(2)和设置于所述顶面骨架(2)和底面骨架(8)之间的纵向支撑柱(4),所述底面骨架(8)、顶面骨架(2)和纵向支撑柱(4)围成料篮容纳腔,且所述料篮容纳腔的底面和侧面上均包覆有过滤网(1)。 | ||
地址 | 071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 |