| 发明名称 | 机械手装置和装卸载系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种机械手装置和装卸载系统。该机械手装置包括机械手和至少二个吸盘，所述吸盘安装于所述机械手上，所述吸盘用于吸附晶片，所述机械手用于将吸附的至少两个晶片从第一预定位置传输到第二预定位置。本实用新型中，机械手上安装有至少二个吸盘，吸盘可用于吸附晶片，因此机械手能够通过吸盘一次抓取至少二个晶片，这极大的提高了机械手装置的取片效率，从而提高了装卸载过程的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN202977393U | 申请公布日期 | 2013.06.05 |
| 申请号 | CN201220569790.1 | 申请日期 | 2012.11.01 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 陈伟 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 彭瑞欣;张天舒 |
| 主权项 | 一种机械手装置，其特征在于，包括：机械手和至少二个吸盘，所述吸盘安装于所述机械手上，所述吸盘用于吸附晶片，所述机械手用于将吸附的至少两个晶片从第一预定位置传输到第二预定位置。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 | ||