一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备

摘要

本实用新型属于冶金提纯技术领域，特别涉及一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备。该设备中水冷盘活动安装于真空腔室底部，石墨板置于水冷盘顶端，石墨支柱一端通过孔与石墨板嵌套连接，另一端与石墨托盘嵌套连接，坩埚置于石墨托盘之上，石墨发热体套于坩埚外围，碳毡保温桶套于石墨发热体之外碳毡保温盖上开有孔，置于碳毡保温桶顶端，石英管活动安装于真空腔室顶端，上端通过阀门与真空装置活动密封连接，真空装置上安装有真空计。本实用新型的设备是在原有定向凝固设备的基础之上增加了石英管、通气管道和真空装置，设备改造安装方便，操作简单，能有效去除铸锭尾部富集的杂质，节约了生产周期和成本，适用于工业化大规模生产。

主权项

一种真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的设备，由真空腔室（2）构成外壁，外壁上安装有真空管路（15），真空管路一端与真空泵组（14）相连，其特征是：外壁上固定安装有通气管路（16），且活动安装有尾料收集箱（13），水冷盘（12）活动安装于真空腔室底部，石墨板（11）置于水冷盘顶端，石墨板上开有孔，石墨支柱（10）一端通过孔与石墨板嵌套连接，另一端与石墨托盘（9）嵌套连接，坩埚置于石墨托盘之上，石墨发热体（6）套于坩埚（7）外围且固定于真空腔室侧壁，碳毡保温桶（4）套于石墨发热体之外且固定于真空腔室侧壁，碳毡保温盖（3）上开有孔，置于碳毡保温桶顶端，感应线圈（5）套于碳毡保温桶之外且固定于真空腔室侧壁之上，石英管（1）活动安装于真空腔室顶端，且其下端穿过碳毡保温盖置于坩埚正上方中心位置，上端通过阀门（17）与真空装置（18）活动密封连接，真空装置上安装有真空计（19）。