一种大气压微波等离子体炬装置

摘要

本实用新型公开了一种大气压微波等离子体炬装置，该装置包括微波功率单元、波导和喷嘴，其中所述微波功率单元用于将直流电场中取得的直流能量转换成微波能量，并输出至波导；所述波导呈两端宽、中间窄的对称结构，其一端与微波功率单元相连用于引导传输入射的微波，另外一端设置有短路活塞；所述喷嘴沿着竖直方向插入在波导的位置，其一端通过软管与装有介质气体的气瓶相连，另外一端用于介质气体在放电后产生等离子体炬。通过本实用新型，能够在低功率、普通大气压的条件下产生密度大、活性高、温度低的等离子体，并且整体装置结构紧凑，运行稳定，并具备放电效率高、便于精确控制点火等优点。

主权项

一种大气压微波等离子体炬装置，该装置包括微波功率单元（1）、波导（2）和喷嘴（3），其特征在于：所述微波功率单元（1）用于将直流电场中取得的直流能量转换成微波能量，并输出至波导（2）；所述波导（2）呈两端宽、中间窄的对称结构，其一端与微波功率单元（1）相连用于引导传输入射的微波，另外一端设置有短路活塞（5），并通过该短路活塞的滑动来控制电场强度的分布；所述喷嘴（3）沿着竖直方向插入在波导（2）的中央位置，其一端通过软管与装有介质气体的气瓶相连，另外一端用于介质气体在放电后产生等离子体炬。