超级结功率器件终端结构

摘要

本发明公开了一种超级结功率器件终端结构，包括原胞区和终端区，原胞区和终端区有沟槽，原胞内的沟槽和终端区的沟槽成正交相接，原胞区内的沟槽处向内收缩，使得终端区沟槽与原胞区内沟槽相交的长方形区域对角线长度尺寸最大值不超过原胞区内沟槽宽度的1.2倍。本发明通过优化超级结终端结构的设计，改善超级结制备工艺，提高器件性能。

主权项

一种超级结功率器件终端结构，包括原胞区和终端区，原胞区和终端区有沟槽，原胞内的沟槽和终端区的沟槽成正交相接，其特征在于，原胞区内的沟槽处向内收缩，使得终端区沟槽与原胞区内沟槽相交的长方形区域对角线长度尺寸最大值不超过原胞区内沟槽宽度的1.2倍。