适用于微机电传感器的质量体与使用该质量体的三轴微机电传感器

摘要

本发明涉及一种三轴微机电传感器，包含：第一轴固定电极；第二轴固定电极；第三轴固定电极；可动电极框架，其包括第一轴可动电极、第二轴可动电极、第三轴可动电极、及将以上三轴可动电极连接在一起的连接元件，其中第一轴可动电极在第一轴上与第一轴固定电极构成第一电容、第二轴可动电极在第二轴上与第二轴固定电极构成第二电容、第三轴可动电极在第三轴上与第三轴固定电极构成第三电容，且该连接元件包含一中心质量体，此中心质量体与该第一轴、第二轴、或第三轴可动电极连接，该中心质量体具有外环及连接外环邻边的第一连接段；与可动电极框架连接的弹簧；以及与弹簧连接的固定柱，其中该第一、第二、第三轴彼此不互相平行而定义出三维坐标系统。

主权项

一种三轴微机电传感器，包含：第一轴固定电极；第二轴固定电极；第三轴固定电极；可动电极框架，其包括第一轴可动电极、第二轴可动电极、第三轴可动电极、及将以上三轴可动电极连接在一起的连接元件，其中第一轴可动电极在第一轴上与第一轴固定电极构成第一电容、第二轴可动电极在第二轴上与第二轴固定电极构成第二电容、第三轴可动电极在第三轴上与第三轴固定电极构成第三电容，且该连接元件包含一中心质量体，此中心质量体与该第一轴、第二轴、或第三轴可动电极连接，其特征在于，该中心质量体具有外环及连接外环邻边的第一连接段；与可动电极框架连接的弹簧；以及与弹簧连接的固定柱，其中该第一、第二、第三轴彼此不互相平行而定义出三维坐标系统。