一种等离子体加工设备

摘要

本发明提供一种等离子体加工设备，包括装载腔室、传输腔室、N个工艺腔室(N为大于等于1的整数)、卸载腔室。其中，传输腔室串接于装载腔室和卸载腔室之间，其侧面并行地连接N个工艺腔室。传输腔室利用设置于其中的纵向传动部和横向传动部可同时为并行设置的N个工艺腔室传输工件。各个工艺腔室独立完成整个工艺，且相互之间不受影响。因此，本发明提供的等离子体加工设备能够在提高产品质量、节约设备成本的同时，有效提高设备产能。

主权项

一种等离子体加工设备，包括装载腔室、N个工艺腔室、卸载腔室，其中N为大于等于1的整数，其特征在于，所述等离子体加工设备还包括串接于装载腔室和卸载腔室之间的传输腔室，所述传输腔室侧面并行连接所述N个工艺腔室；所述传输腔室内设置有传动机构，用于在装载腔室、工艺腔室和卸载腔室之间传输工件；所述传动机构包括可携带工件纵向移动的纵向传动部，以及可携带工件横向移动的横向传动部，并且所述横向传动部可升降。