载置台装置、图案形成装置、曝光装置、载置台驱动方法、曝光方法、以及器件制造方法

摘要

载置台装置具备：具有沿着XY平面移动的粗动载置台(91)、和能够在该粗动载置台上至少在与XY平面平行的方向上微动的平台(WTB)的晶片载置台；以及编码器系统。在粗动载置台中，设置了多个编码器头(60C等)。各头向与XY平面平行地配置的第1光栅部(RG)以及平台中设置的第2光栅部(RG2Y)分别照射测量波束(LB1、LB2)等，接收来自第1以及第2光栅部各自的衍射光。编码器系统根据与第1以及第2光栅部对向的至少一个编码器头的输出，来测量XY平面内的平台(晶片载置台)的位置信息。

主权项

一种载置台装置，其特征在于，具备：粗微动载置台，包含沿着规定平面移动的粗动载置台、和能够在该粗动载置台上微动的微动载置台；以及测量装置，具有设置在所述粗动载置台中的编码器头，根据对在所述粗微动载置台的外部与所述规定平面实质上平行地配置的第1光栅部照射第1测量波束并接收来自所述第1光栅部的衍射光而得到的第1位置信息、以及所述粗动载置台和所述微动载置台的相对的第2位置信息，来测量所述微动载置台的规定方向的位置信息，所述测量装置通过所述编码器头取得所述粗动载置台和所述微动载置台的第2位置信息。