| 发明名称 | 一种电极改造方法、装置及用于刻蚀的机台 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种电极改造方法，用于提升机台保养效率，增加机台稳定性。所述方法包括：将用于刻蚀的机台的下电极表面置于电解液中，对所述下电极表面进行氧化；将氧化后的下电极安装在所述机台上。本发明还公开了用于实现所述方法的装置及一种用于刻蚀的机台。 | ||
| 申请公布号 | CN103137402A | 申请公布日期 | 2013.06.05 |
| 申请号 | CN201110391992.1 | 申请日期 | 2011.11.30 |
| 申请人 | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 | 发明人 | 匡友停 |
| 分类号 | H01J37/04(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人 | 黄志华 |
| 主权项 | 一种电极改造方法，其特征在于，包括以下步骤：将用于刻蚀的机台的下电极表面置于电解液中，对所述下电极表面进行氧化；将氧化后的下电极安装在所述机台上。 | ||
| 地址 | 100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦9层 | ||