放射线敏感性树脂组合物、聚合物及化合物

摘要

本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物，其含有［A］具有来自下述式（1）表示的化合物的结构单元（I）和来自下述式（2）表示的化合物的结构单元（II）的聚合物、［B］产酸体和［C］有机溶剂。式（1）中，R¹与构成内酯环的碳原子一起形成碳原子数3～8的环结构。R²为氟原子、羟基或碳原子数1～20的有机基团。a为0～6的整数。a为2以上时，多个R²可以相同或不同，也可以互相结合而形成环结构。其中，R¹和R²中的至少1个基团具有杂原子或卤素原子。

主权项

1.一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有：［A］具有结构单元I和结构单元II的聚合物，所述结构单元I来自下述式（1）表示的化合物，所述结构单元II来自下述式（2）表示的化合物，［B］产酸剂，和［C］有机溶剂，式（1）中，R¹为与构成内酯环的碳原子一起形成碳原子数3～8的环结构的（a+2）价的有机基团；R²为氟原子、羟基或碳原子数1～20的有机基团；a为0～6的整数；a为2以上时，多个R²可以相同或不同，也可以互相结合而形成环结构；其中，R¹和R²中的至少1个基团具有杂原子或卤素原子；R³为氢原子或甲基；R⁴为氢原子、氟原子、或碳原子数1～6的烷基；R⁵为氢原子、或者可以与R⁴结合而与它们所结合的碳原子一起形成碳原子数3～8的环烷二基；式（2）中，R⁶为氢原子或甲基；R⁷、R⁸和R⁹各自独立地为碳原子数1～6的烷基，该烷基的氢原子可以被取代；另外，R⁷和R⁸可以互相结合而与它们所结合的碳原子一起形成环结构。