| 发明名称 | 一种用于显示装置的薄膜晶体管阵列基板及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种用于显示装置的薄膜晶体管阵列基板及其制造方法。所述用于显示装置的薄膜晶体管阵列基板包括：玻璃基板；依次位于所述玻璃基板上的栅极、栅极绝缘层、有源层和欧姆接触层；位于所述欧姆接触层上的源极和漏极；位于所述源极和漏极上的有机绝缘膜；位于所述有机绝缘层上的上无机绝缘膜；位于所述上无机绝缘膜上的p-ITO像素电极，所述p-ITO像素电极通过所述上无机绝缘膜及有机绝缘膜内的通孔与所述漏极相连。本发明所提供的用于显示装置的薄膜晶体管阵列基板，可以解决p-ITO与有机绝缘膜之间表面接触特性差而导致刻蚀工艺难以控制的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN103137628A | 申请公布日期 | 2013.06.05 |
| 申请号 | CN201110392729.4 | 申请日期 | 2011.11.30 |
| 申请人 | 上海中航光电子有限公司 | 发明人 | 孔祥永 |
| 分类号 | H01L27/12(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L29/45(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 一种用于显示装置的薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，包括：玻璃基板；依次位于所述玻璃基板上的栅极、栅极绝缘层、有源层和欧姆接触层；位于所述欧姆接触层上的源极和漏极；位于所述源极和漏极上的有机绝缘膜；位于所述有机绝缘层上的上无机绝缘膜；位于所述上无机绝缘膜上的p‑ITO像素电极，所述p‑ITO像素电极通过所述上无机绝缘膜及有机绝缘膜内的通孔与所述漏极相连。 | ||
| 地址 | 201108 上海市闵行区华宁路3388号 | ||