发明名称 |
用于多晶硅铸锭炉的石墨器材的涂层组合物 |
摘要 |
本发明公开一种用于多晶硅铸锭炉的石墨器材的涂层组合物,其特征在于,所述涂层组合物含有:涂覆物5-30wt%、溶剂60-85wt%,其中所述涂覆物选自氮化硅、碳化硅、二氧化硅和碳酸钡中的一种或几种;所述溶剂选自水或乙醇。本发明涂层组合物可减少气态碳硅化合物对多晶硅锭的碳污染,同时也在坩埚开裂漏锅时,保护石墨器材免受硅液的损毁。 |
申请公布号 |
CN103132141A |
申请公布日期 |
2013.06.05 |
申请号 |
CN201110397801.2 |
申请日期 |
2011.12.05 |
申请人 |
江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
发明人 |
黄春来;薛抗美;游达 |
分类号 |
C30B28/06(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B28/06(2006.01)I |
代理机构 |
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
代理人 |
何平;无 |
主权项 |
用于多晶硅铸锭炉的石墨器材的涂层组合物,其特征在于,所述涂层组合物含有:涂覆物5‑30wt%溶剂 60‑85wt%其中所述涂覆物选自氮化硅、碳化硅、二氧化硅和碳酸钡中的一种或几种;所述溶剂选自水或乙醇。 |
地址 |
221004 江苏省徐州市经济开发区杨山路88号 |