发明名称 用于多晶硅铸锭炉的石墨器材的涂层组合物
摘要 本发明公开一种用于多晶硅铸锭炉的石墨器材的涂层组合物,其特征在于,所述涂层组合物含有:涂覆物5-30wt%、溶剂60-85wt%,其中所述涂覆物选自氮化硅、碳化硅、二氧化硅和碳酸钡中的一种或几种;所述溶剂选自水或乙醇。本发明涂层组合物可减少气态碳硅化合物对多晶硅锭的碳污染,同时也在坩埚开裂漏锅时,保护石墨器材免受硅液的损毁。
申请公布号 CN103132141A 申请公布日期 2013.06.05
申请号 CN201110397801.2 申请日期 2011.12.05
申请人 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 发明人 黄春来;薛抗美;游达
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B28/06(2006.01)I
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人 何平;无
主权项 用于多晶硅铸锭炉的石墨器材的涂层组合物,其特征在于,所述涂层组合物含有:涂覆物5‑30wt%溶剂  60‑85wt%其中所述涂覆物选自氮化硅、碳化硅、二氧化硅和碳酸钡中的一种或几种;所述溶剂选自水或乙醇。
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