发明名称 一种用于真空镀膜膜厚测试的支架
摘要 本实用新型提供一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,主要包括支架加强板(1)、样品托板(2)和样品放置口(3)。所述的支架加强板(1)与样品托板(2)之间均采用紧固螺钉(4)紧固连接;所述的支架加强板(1)厚度为所述的样品托板(2)厚度的两倍至四倍之间;所述的样品托板(2)上均匀设置有若干个样品放置口(3)和若干个螺纹孔;所述的样品放置口(3)呈“十”字型,中部是矩形通孔,上下端是矩形沉头槽;所述的支架加强板(1)、样品托板(2)和紧固螺钉(4)均采用不锈钢制成。利用本实用新型所制得的膜厚测试样品,镀膜均匀,镀膜效率高,成本低廉,测试数据准确,并且没有传统的玻璃基板破碎风险。
申请公布号 CN202968684U 申请公布日期 2013.06.05
申请号 CN201220648551.5 申请日期 2012.11.30
申请人 四川虹欧显示器件有限公司 发明人 李凯;段冰;彭开烨
分类号 C23C14/54(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;G01B21/08(2006.01)I 主分类号 C23C14/54(2006.01)I
代理机构 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人 詹永斌
主权项 一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述的支架包括支架加强板(1)、样品托板(2)和样品放置口(3),所述的支架加强板(1)与样品托板(2)之间紧固连接,所述的样品放置口(3)设置在样品托板(2)上。
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