发明名称 |
一种用于真空镀膜膜厚测试的支架 |
摘要 |
本实用新型提供一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,主要包括支架加强板(1)、样品托板(2)和样品放置口(3)。所述的支架加强板(1)与样品托板(2)之间均采用紧固螺钉(4)紧固连接;所述的支架加强板(1)厚度为所述的样品托板(2)厚度的两倍至四倍之间;所述的样品托板(2)上均匀设置有若干个样品放置口(3)和若干个螺纹孔;所述的样品放置口(3)呈“十”字型,中部是矩形通孔,上下端是矩形沉头槽;所述的支架加强板(1)、样品托板(2)和紧固螺钉(4)均采用不锈钢制成。利用本实用新型所制得的膜厚测试样品,镀膜均匀,镀膜效率高,成本低廉,测试数据准确,并且没有传统的玻璃基板破碎风险。 |
申请公布号 |
CN202968684U |
申请公布日期 |
2013.06.05 |
申请号 |
CN201220648551.5 |
申请日期 |
2012.11.30 |
申请人 |
四川虹欧显示器件有限公司 |
发明人 |
李凯;段冰;彭开烨 |
分类号 |
C23C14/54(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;G01B21/08(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/54(2006.01)I |
代理机构 |
成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 |
代理人 |
詹永斌 |
主权项 |
一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,其特征在于:所述的支架包括支架加强板(1)、样品托板(2)和样品放置口(3),所述的支架加强板(1)与样品托板(2)之间紧固连接,所述的样品放置口(3)设置在样品托板(2)上。 |
地址 |
621000 四川省绵阳市经济开发区绵州大道中段186号长虹工业园 |