发明名称 |
复合氧化物烧结体及其制造方法、溅射靶材、以及氧化物透明导电膜及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种复合氧化物烧结体(2)及其制造方法,所述复合氧化物烧结体(2)主要由锌、铝、钛和氧构成的复合氧化物烧结体(2),其元素的原子比满足下述式(1)~(3),其是由含有作为主要成分的氧化锌且平均粒径为20μm以下的具有六方晶系纤维锌矿型结构的颗粒、以及含有铝和钛且平均粒径为5μm以下的具有ZnTiO3型类似结构和/或Zn2Ti3O8型类似结构的颗粒形成的,且其不含固溶有锌和铝的铝酸锌的具有尖晶石氧化物结构的颗粒。(Al+Ti)/(Zn+Al+Ti)=0.004~0.055(1)Al/(Zn+Al+Ti)=0.002~0.025(2)Ti/(Zn+Al+Ti)=0.002~0.048(3)[上述式中,Al、Ti、Zn分别表示铝、钛和锌的含量(原子%)]。 |
申请公布号 |
CN103140454A |
申请公布日期 |
2013.06.05 |
申请号 |
CN201180047525.5 |
申请日期 |
2011.09.27 |
申请人 |
东曹株式会社 |
发明人 |
仓持豪人;饭草仁志;涩田见哲夫 |
分类号 |
C04B35/453(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;H01B1/08(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I |
主分类号 |
C04B35/453(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种复合氧化物烧结体,其主要由锌、铝、钛和氧构成,构成该烧结体的元素的原子比满足下述式(1)、(2)和(3),该烧结体由含有作为主要成分的氧化锌且平均粒径为20μm以下的具有六方晶系纤维锌矿型结构的颗粒、以及含有铝和钛且平均粒径为5μm以下的具有ZnTiO3型类似结构和/或Zn2Ti3O8型类似结构的颗粒构成,且其不含固溶有锌和铝的铝酸锌的具有尖晶石氧化物结构的颗粒,(Al+Ti)/(Zn+Al+Ti)=0.004~0.055 (1)Al/(Zn+Al+Ti)=0.002~0.025 (2)Ti/(Zn+Al+Ti)=0.002~0.048 (3)在上述式(1)、(2)和(3)中,Al、Ti、Zn分别表示铝、钛和锌的含量(原子%)。 |
地址 |
日本山口县 |