压印装置、使用该压印装置的物品制造方法和压印方法

摘要

本发明公开了压印装置、使用该压印装置的物品制造方法和压印方法。该压印装置包括：保持单元，被配置为通过使用包含多个吸附力产生部的吸附单元来保持模具；吸附力调整单元，被配置为能够调整所述多个吸附力产生部的吸附力；以及形状校正单元，被配置为通过向所述模具施加力来使所述模具的图案区域的形状与所述基板的基板侧图案区域的形状对准。在通过使用所述形状校正单元向所述模具施加力的情况下，所述吸附力调整单元将向所述模具施加吸附的吸附表面的预定区域配置为吸附区域，并且，调整多个吸附力产生部的吸附力，使得其它区域上的吸附力比所述吸附区域上的吸附力小。

主权项

一种压印装置，被配置为通过模具在基板上使未固化的树脂成形并使该树脂固化，并且在所述基板上的固化的树脂上形成图案，该压印装置包括： 保持单元，被配置为通过使用包含多个吸附力产生部的吸附单元来保持模具； 吸附力调整单元，被配置为能够调整所述多个吸附力产生部的吸附力；以及 形状校正单元，被配置为通过向所述模具施加力来使所述模具的图案区域的形状与所述基板的基板侧图案区域的形状对准， 其中，在通过使用所述形状校正单元向所述模具施加力的情况下，所述吸附力调整单元将向所述模具施加吸附的吸附表面的预定区域配置为吸附区域，并且，调整多个吸附力产生部的吸附力，使得其它区域上的吸附力比所述吸附区域上的吸附力小。