发明名称 |
电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置 |
摘要 |
本发明的课题在于提供一种能够防止探针或半导体器件的通电所引起的温度上升、能够进行正确测定的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置。本发明通过提供如下的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置来解决上述课题,该电力用半导体器件检查用探针组件具有:具有多个探针收纳孔的探针座;多根探针,所述多根探针被分别收纳在各个所述探针收纳孔中,使所述探针的外周与所述探针收纳孔的内周接触,且使所述探针的在检查时与对象物接触的下端部从所述探针座突出;和对所述探针座进行冷却的一个或者两个以上的冷却单元。 |
申请公布号 |
CN103134962A |
申请公布日期 |
2013.06.05 |
申请号 |
CN201210518148.5 |
申请日期 |
2012.12.05 |
申请人 |
日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
发明人 |
安田胜男;增田光;根井秀树;石渡达也 |
分类号 |
G01R1/073(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I |
主分类号 |
G01R1/073(2006.01)I |
代理机构 |
上海市华诚律师事务所 31210 |
代理人 |
肖华 |
主权项 |
一种电力用半导体器件检查用探针组件,其特征在于,具有:具有多个探针收纳孔的探针座;多根探针,所述多根探针被分别收纳在各个所述探针收纳孔中,使所述探针的外周与所述探针收纳孔的内周接触,且使所述探针的在检查时与对象物接触的下端部从所述探针座突出;和对所述探针座进行冷却的一个或者两个以上的冷却单元。 |
地址 |
日本国东京都武藏野市吉祥寺本町2丁目6番8号 |