发明名称 一种制备Cu<sub>2</sub>O薄膜的方法
摘要 本发明提供一种在蓝宝石衬底上制备Cu2O单晶薄膜的方法,包括:在蓝宝石衬底上沉积MgO缓冲层;在MgO缓冲层上沉积Cu2O单晶薄膜。
申请公布号 CN103132144A 申请公布日期 2013.06.05
申请号 CN201110376430.X 申请日期 2011.11.23
申请人 中国科学院物理研究所 发明人 叶大千;梅增霞;李俊强;刘尧平;杜小龙
分类号 C30B29/16(2006.01)I;C30B29/64(2006.01)I;C30B25/02(2006.01)I 主分类号 C30B29/16(2006.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人 王勇
主权项 一种在蓝宝石衬底上制备Cu2O薄膜的方法,包括:1)在蓝宝石衬底上沉积MgO缓冲层;2)在MgO缓冲层上沉积Cu2O薄膜。
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