六氟化硫在线湿度仪校验装置及其校验方法

摘要

一种六氟化硫在线湿度仪校验装置及其校验方法，贮气罐经出气管道与校验仓连接，该出气管道上设有校验进口阀，校验仓经管道与循环泵仓连接，循环泵仓的排气管道上顺次设有联络阀和排气阀以及排气流量计，循环泵仓的出口管道与贮气罐连接，该出口管道上设有出口阀，隔膜泵设置在循环泵仓内，循环泵仓上设有循环压力表，校验仓上设有用作连接被校验湿度传感器的接口；贮气罐上设有压力表，贮气罐上设有进气管，进气管上设有进气阀；真空泵经抽真空管路与贮气罐连接，抽真空管路上设有真空泵进气阀。本装置能实现对六氟化硫在线湿度仪在气体压力和不同温度条件进行比对、测量，可显著提高在线湿度仪的准确度。

主权项

一种六氟化硫在线湿度仪校验装置，其特征是：贮气罐（1）经出气管道与校验仓（3）连接，该出气管道上设有校验进口阀（5），校验仓经管道与循环泵仓（4）连接，循环泵仓的排气管道上顺次设有联络阀（7）和排气阀（8）以及排气流量计（14），循环泵仓的出口管道与贮气罐（1）连接，该出口管道上设有出口阀（6），隔膜泵（13）设置在循环泵仓（4）内，循环泵仓（4）上设有循环压力表（11），校验仓（3）上设有用作连接被校验湿度传感器的接口（12）；贮气罐（1）上设有压力表（15），贮气罐（1）上设有进气管，进气管上设有进气阀（16）；真空泵经抽真空管路与贮气罐（1）连接，抽真空管路上设有真空泵进气阀（9）。