单晶炉及其下保温筒

摘要

本实用新型提供了一种单晶炉的下保温筒，包括本体、排气口和具有排气通孔的碳毡，其还包括连接在所述本体上，且位于所述排气口和排气通孔内的排气导管。本实用新型提供的单晶炉的下保温筒中，与现有技术相比增设了排气导管，使其将高温气流与碳毡进行隔离，避免其相互接触，减少甚至避免了碳毡被腐蚀的几率，使碳毡在排气口处的保温效果更好，节省了电能，保证了排气效果，并进一步保证单晶炉拉制单晶硅的过程能够顺利的进行。本实用新型还提供了一种具有上述下保温筒的单晶炉。

主权项

一种单晶炉的下保温筒，包括本体（1）、排气口（2）和具有排气通孔的碳毡（3），其特征在于，还包括连接在所述本体（1）上，且位于所述排气口（2）和排气通孔内的排气导管（4）。