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发明名称 Coaxial FIB-SEM column
摘要
申请公布号 EP1388883(B1) 申请公布日期 2013.06.05
申请号 EP20030077444 申请日期 2003.08.05
申请人 FEI COMPANY 发明人 GERLACH, ROBERT L.;UTLAUT, MARK W.;SCHEINFEIN, MICHAEL R.
分类号 H01J37/12;G01N23/00;G21K7/00;H01J37/05;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28;H01J37/305;H01J37/317 主分类号 H01J37/12
代理机构 代理人
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