用于等离子体诊断的Langmuir多探针控制电路

摘要

本发明公开了一种用于等离子体诊断的Langmuir多探针控制电路，属于等离子体诊断技术领域。控制电路整体位于等离子体装置之外，包括三个Langmuir单探针、交流锯齿波供电电压发生装置、直流供电电压发生装置、双刀双掷开关、反向开关、第一双刀三掷开关、第二双刀三掷开关、第一单刀单掷开关、第二单刀单掷开关和转换电阻，通过切换控制电路中的开关来进行Langmuir单探针、双探针和三探针不同诊断电路之间的选择，并提供清洗电路实现对探针的清洗操作。本发明利用了三种探针诊断方法在实验设备上的相同点，可以节约实验成本。结合三种诊断方法的不同点，通过转换控制电路切换不同方法，方便快捷，大大缩短实验周期；可以在实验过程中对探针进行清洗，使实验结果更加准确。

主权项

用于等离子体诊断的Langmuir多探针控制电路，其特征在于：所述的控制电路整体位于等离子体装置之外，通过切换控制电路中的开关来进行Langmuir单探针、双探针和三探针不同诊断电路之间的选择，并提供清洗电路实现对探针的清洗操作。