旋转式真空镀膜装置

摘要

本实用新型公开一种旋转式真空镀膜装置，将工件输送带设于真空镀膜装置的一侧，工件输送带的装卸工位与真空镀膜装置的预抽真空室之间设置装卸片机构；真空镀膜装置为旋转式结构，设有多个呈圆周分布的真空室；装卸片机构设有可进行180°旋转的旋转臂；工件输送带将待镀膜工件送入装卸工位，真空镀膜装置内的已镀膜工件同时进入预抽真空室；通过装卸片机构的旋转臂旋转180°，带动待镀膜工件和已镀膜工件交换位置；工件输送带继续运行，将已镀膜工件送出装卸工位，并将新的待镀膜工件送入装卸工位，同时，真空镀膜装置对待镀膜工件进行镀膜，新的已镀膜工件进入预抽真空室。本实用新型实现连续式的自动化作业，提高工作效率高。

主权项

旋转式真空镀膜装置，其特征在于，包括多个呈圆周分布的真空室，各真空室组成的圆环中部设置高真空抽气隔离室，各真空室和高真空抽气隔离室的底部相通并设有转盘，转盘底部设有转盘旋转机构。