发明名称 | 用于透射显微镜和扫描显微镜的钼箔网及其制作方法 | ||
摘要 | 本发明提供了一种用于透射显微镜和扫描显微镜的钼箔网,所述钼箔网的厚度为0.01mm~0.05mm,网孔的孔数为1目~600目。本发明制作该钼箔网的方法包括绘图、钼箔处理、光刻胶、前烘烤、曝光、显影、漂洗、后烘烤、刻蚀和去胶。通过本发明的制作方法得到的电子显微镜钼箔网的网孔清晰、孔壁极为光滑。 | ||
申请公布号 | CN103137404A | 申请公布日期 | 2013.06.05 |
申请号 | CN201110375138.6 | 申请日期 | 2011.11.23 |
申请人 | 北京新兴百瑞技术有限公司 | 发明人 | 张继明;田连建 |
分类号 | H01J37/20(2006.01)I;H01J9/00(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/20(2006.01)I |
代理机构 | 北京乾诚五洲知识产权代理有限责任公司 11042 | 代理人 | 付晓青;杨玉荣 |
主权项 | 一种用于透射显微镜和扫描显微镜的钼箔网,其特征在于,所述钼箔网的厚度为0.01mm~0.05mm,网孔的孔数为1目~600目。 | ||
地址 | 100080 北京市海淀区中关村北二条13号2号楼015室 |