发明名称 用于透射显微镜和扫描显微镜的钼箔网及其制作方法
摘要 本发明提供了一种用于透射显微镜和扫描显微镜的钼箔网,所述钼箔网的厚度为0.01mm~0.05mm,网孔的孔数为1目~600目。本发明制作该钼箔网的方法包括绘图、钼箔处理、光刻胶、前烘烤、曝光、显影、漂洗、后烘烤、刻蚀和去胶。通过本发明的制作方法得到的电子显微镜钼箔网的网孔清晰、孔壁极为光滑。
申请公布号 CN103137404A 申请公布日期 2013.06.05
申请号 CN201110375138.6 申请日期 2011.11.23
申请人 北京新兴百瑞技术有限公司 发明人 张继明;田连建
分类号 H01J37/20(2006.01)I;H01J9/00(2006.01)I 主分类号 H01J37/20(2006.01)I
代理机构 北京乾诚五洲知识产权代理有限责任公司 11042 代理人 付晓青;杨玉荣
主权项 一种用于透射显微镜和扫描显微镜的钼箔网,其特征在于,所述钼箔网的厚度为0.01mm~0.05mm,网孔的孔数为1目~600目。
地址 100080 北京市海淀区中关村北二条13号2号楼015室