铸锭炉及其侧板装置

摘要

本实用新型公开了一种铸锭炉及其侧板装置，公开的侧板装置包括周向夹持坩埚且首尾相连的若干侧板，相邻侧板拼接角度小于180度；侧板沿坩埚的周向具有至少一个气体通道，坩埚内的惰性气体经气体通道流出坩埚的内腔，气体通道靠近相邻侧板的连接处。惰性气体在坩埚的内腔中沿相邻侧板的连接处流出坩埚，对惰性气体的流向起疏导作用，改变传统的惰性气体流通方向，将惰性气体从热点处导出，温度较低的惰性气体不仅可以给热点降温，减小硅液内部局部过热情况的发生。同时，惰性气体可以快速带走热点处挥发的杂质，使聚集在热点处的杂质经气体通道尽快流出坩埚，最终达到平衡热场，稳定晶体生产速度，提高硅锭品质的目的。

主权项

一种用于铸锭炉的侧板装置，包括周向夹持坩埚且首尾相连的若干侧板，相邻所述侧板拼接角度小于180度；所述侧板沿所述坩埚的周向具有至少一个气体通道，所述坩埚内的惰性气体经所述气体通道流出所述坩埚的内腔，其特征在于，所述气体通道靠近相邻所述侧板的连接处。