发明名称
摘要
申请公布号 JP5204229(B2) 申请公布日期 2013.06.05
申请号 JP20100518232 申请日期 2008.07.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/318;H01L21/768;H01L23/532 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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