双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法及双电动机驱动装置

摘要

本发明提供双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法及双电动机驱动装置，能够校正在滑块产生的应变而确保滑块相对于一对驱动轴的高精度的垂直度。在装置组装后的调整阶段，在第一及第二滚珠丝杠轴（37a、37b）之间产生装置运转时的推力差，使Y轴滑块（34）产生应变而运算该应变的校正量（步骤1~8）。并且，在装置运转时的原点回复动作中使上述应变再现，利用上述应变校正量进行位置校正（步骤11~14）。由此，能够确保Y轴滑块34相对于第一及第二滚珠丝杠轴37a、37b的高精度的垂直度，因此能够提高元件安装装置的生产品的精度，从而能够提高生产能力。

主权项

一种双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法，所述双电动机驱动装置具备：一对第一及第二驱动轴，平行地并列配置；滑块，两端部被支承为能够分别沿着所述第一及第二驱动轴移动；第一及第二位置检测部，分别检测所述滑块的两端部的位置；第一及第二驱动部，根据所述第一及第二位置检测部产生的位置检测值，所述第一驱动部对所述滑块的一端侧沿着所述第一驱动轴进行驱动控制，所述第二驱动部与所述第一驱动轴同步地对所述滑块的另一端侧进行控制而使所述滑块的另一端侧沿着所述第二驱动轴移动，所述双电动机驱动装置的滑块的应变校正方法包括：驱动工序，驱动所述第一及第二驱动部的至少一方以在所述第一及第二驱动轴之间产生装置运转时的推力差，使所述滑块产生应变；校正量运算工序，基于使所述滑块产生应变之后的该滑块的所述另一端侧的端部相对于所述一端侧的端部的应变量，求出所述滑块的应变校正量；应变校正工序，驱动所述第一及第二驱动部以在所述第一及第二驱动轴之间产生与所述推力差相同的推力差，使所述滑块的各端部分别回复到原点，对所述滑块的所述一端侧的端部进行定位之后，以所述应变校正量校正所述另一端侧的端部的位置。