基于位移传感器的二维微动台

摘要

本实用新型公开了一种基于位移传感器的二维微动台，包括二维驱动工作台、二维位移传感器及连接板，二维驱动工作台包括微动台基体，微动台基体内设有传感器连接台、压电陶瓷放置区和杠杆放大机构，二维位移传感器为二维梳齿位移传感器，包括传感器基体、位于传感器基体中间且与传感器连接台相连的连接块以及与传感器基体和连接块相连的传感器梳齿检测区。本实用新型二维微动台器行程大，可实现全闭环控制，其具有结构紧凑、体积小、集成度高、精度高的特点，同时在二维检测方面实现了有效的解耦，所以此种结构的微动台的应用会越来越广泛。

主权项

一种基于位移传感器的二维微动台，其特征在于，所述二维微动台包括二维驱动工作台和位于二维驱动工作台上的二维位移传感器，所述二维驱动工作台包括微动台基体，微动台基体内设有传感器连接台以及位于传感器连接台外侧的压电陶瓷放置区和杠杆放大机构，所述压电陶瓷放置区与杠杆放大机构、杠杆放大机构与微动台基体、杠杆放大机构与传感器连接台通过支撑柔性梁固定连接，所述二维位移传感器为二维梳齿位移传感器，包括传感器基体、位于传感器基体中间且与所述传感器连接台相连的连接块以及与传感器基体和连接块相连的传感器梳齿检测区。