沉积有机化合物的设备和方法以及具有该设备的基底处理装置

摘要

本发明提供了沉积有机化合物的设备，以在基底上沉积预定的有机膜。该设备包括沉积室、设置在沉积室内部并且支撑基底以使基底的沉积表面朝下的支撑构件、在其中安装有有机蒸发器以将有机化合物蒸镀到基底的沉积表面上的蒸发器安装部分，以及与蒸发器安装部分相邻设置的用以更换有机蒸发器的蒸发器更换部分。根据该设备，蒸发有机化合物的有机蒸发器自动更换。

主权项

在基底上沉积有机化合物的设备，其包含：沉积室；设置在沉积室内部并且支撑基底以使基底的沉积表面朝下的支撑构件；蒸发器安装部分，在其中安装有有机蒸发器，以将有机化合物蒸镀到基底的沉积表面上；设置在沉积室内部的挡板，该挡板将沉积室分割成基底在其上输送的上部和有机蒸发器设置于其上的下部，所述挡板包括开口，通过该开口将从有机蒸发器蒸发的有机化合物沉积在基底的沉积表面的特定区域上；用于测量有机蒸发器中有机化合物的消耗量的传感部分，其在形成于有机蒸发器上的蒸发孔的上边进行直线运动和往复运动；与蒸发器安装部分相邻设置的用以更换有机蒸发器的蒸发器更换部分；以及用于在蒸发器安装部分和蒸发器更换部分之间输送有机蒸发器的蒸发器输送单元；其中所述蒸发器更换部分包括：备用室，其设置在蒸发器安装部分的一侧，新的有机蒸发器在其中待用；以及取出室，其设置在蒸发器安装部分的另一侧，来自蒸发器安装部分的，被新的有机蒸发器替换下的有机蒸发器被装入其中；其中所述蒸发器输送单元包含：用于导引有机蒸发器的运动的导引构件；以及用于使有机蒸发器沿着导引构件运动的驱动器。