| 发明名称 | 硅各向异性蚀刻液组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种硅各向异性蚀刻液组合物，含有(a)作为有机碱化合物和无机碱化合物的混合物的碱化合物；以及(b)含硅化合物。作为有机碱化合物，使用氢氧化季铵盐或乙二胺中的1种以上。此外，作为无机碱化合物，使用氢氧化钠、氢氧化钾、氨或肼中的1种以上。此外，含硅无机化合物是金属硅、热解法二氧化硅、胶体二氧化硅、硅胶、硅溶胶、硅藻土、酸性白土、活性白土等，含硅有机化合物使用硅酸烷基酯或烷基硅酸的季铵盐中的1种以上。 | ||
| 申请公布号 | CN101519592B | 申请公布日期 | 2013.06.05 |
| 申请号 | CN200910006600.8 | 申请日期 | 2009.02.25 |
| 申请人 | 林纯药工业株式会社;三洋电机株式会社;三洋半导体株式会社;三洋半导体制造株式会社 | 发明人 | 勇谦司;木村真弓;青山哲男;田湖次广 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/306(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 蒋亭;苗堃 |
| 主权项 | 一种硅各向异性蚀刻液组合物，其特征在于，是含有(a)碱化合物以及(b)含硅化合物或金属硅的水溶液，其中，所述(a)碱化合物是有机碱化合物和无机碱化合物的混合物，有机碱化合物的浓度为0.01～25重量％，无机碱化合物的浓度为0.01～50重量％，含硅化合物的浓度为0.01～30重量％。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||