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Bearbeitungskopf (14) für eine Laserbearbeitungsvorrichtung (10), die für die Bearbeitung von Werkstücken (24) mit Laserstrahlung (40) eingerichtet ist, wobei der Bearbeitungskopf (14) eine Fokussieroptik (28) aufweist, die dem Bearbeitungskopf zugeführte Laserstrahlung in einem Brennfleck (22) fokussiert, dadurch gekennzeichnet, dass der Bearbeitungskopf (14) eine Messeinrichtung (46) zum Messen von Veränderungen der Brennweite der Fokussieroptik (28) aufweist, wobei die Messeinrichtung umfasst: a) eine Lichtquelle (54), die zur Erzeugung von Messlicht (63a, 63b; 63) eingerichtet ist, das von der Laserstrahlung (40) verschieden ist, b) ein Lichtaustrittsfenster (62a, 62b, 62a'), aus dem während des Betriebs der Messeinrichtung das Messlicht austritt, wobei das Lichtaustrittsfenster zumindest unter Mitwirkung der Fokussieroptik oder eines Teiles davon auf eine reflektierende Fläche (66; 66a, 66b) abgebildet wird, die relativ zu dem Lichtaustrittsfenster und der Fokussieroptik ortsfest angeordnet und nicht Teil der Fokussieroptik ist, c) einen Lichtsensor (61a, 61b; 61), der zur Erfassung von Messlicht eingerichtet ist, das aus dem Lichtaustrittsfenster ausgetreten ist, die Fokussieroptik oder den Teil davon durchtreten hat, an der reflektierenden Fläche reflektiert wurde und die Fokussieroptik oder den Teil davon erneut durchtreten hat, wobei das Messlicht zumindest teilweise auf Bereiche von optischen Flächen der Fokussieroptik auftrifft, auf die auch die Laserstrahlung auftrifft, d) eine Auswerteeinrichtung (70; 70a, 70b), die dazu eingerichtet ist, aus vom Lichtsensor bereitgestellten Messsignalen die Veränderung der Brennweite der Fokussieroptik zu ermitteln. |
