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Adaptiver Spiegel (28a) für eine Laserbearbeitungsvorrichtung (10), mit a) einem Gehäuse (56b), b) einer in dem Gehäuse angeordneten Druckkammer (58b), in die eine Anschlussleitung (60b) mündet, die mit einer Druckquelle (32b) verbindbar ist, c) einem Spiegelsubstrat (52b; 52b', 52b'', 52b'''), das die Druckkammer begrenzt und fest in dem Gehäuse eingespannt ist, und wobei ein Innendruck in der Druckkammer so mit Hilfe der Druckquelle veränderbar ist, dass sich das Spiegelsubstrat in Abhängigkeit vom Innendruck in der Druckkammer verformt, dadurch gekennzeichnet, dass das Spiegelsubstrat eine Steifigkeit hat, die zumindest in einem ringförmigen Bereich (72b''; 72b'''), der die geometrische Mitte (68b''; 68b''') des Spiegelsubstrats umschließt, zur geometrischen Mitte hin zunimmt. |
