预防或减少浸入式投影装置之污染的方法及浸入式微影装置

摘要

本发明揭示一种用于预防或减少浸入式投影装置之污染的方法。该装置包括至少一沉浸空间，在该装置投影一辐射束于一基板上时，该沉浸空间系至少部分地由一液体所充填。该方法包括在该装置用以投影该辐射束于一基板上之前先以一清洗液体来清洗该沉浸空间之至少一部分。