基板搬送装置及基板支撑体

摘要

本发明之课题在于提供一种，即使于搬送大型基板时，亦可将基板保持于大致呈水平状态之基板搬送装置。;本发明之解决手段为，拾取器202系于其基端部中，使用于垂直方向拉引之拉引螺钉210及于垂直方向压抵之压抵螺钉211，而固定于拾取器主体201，并从其基端部侧开始朝向前端部侧，对水平轴呈特定角度往斜向上方延伸，前端部的高度位置系位于其基端部(拾取器主体201所形成的支撑端)的上方。