发明名称 |
炉氛围活化方法及设备 |
摘要 |
本发明涉及一种气体喷射器,其中包括在气体喷射器中气体在注入热处理炉室之前经过高压/低电流放电区。气体的电活化促进了气体、炉腔中的气体和室内工件之间期望的反应。优选的是,热电极是带电的而气体喷射器的其他部分和炉子是接地的。 |
申请公布号 |
TWI397611 |
申请公布日期 |
2013.06.01 |
申请号 |
TW097117283 |
申请日期 |
2008.05.09 |
申请人 |
气体产品及化学品股份公司 美国 |
发明人 |
比格尼 朱勒奇;罗伯特 艾尔斯沃斯 诺;约翰 路易士 格林 |
分类号 |
C23C8/68;C23C8/20 |
主分类号 |
C23C8/68 |
代理机构 |
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代理人 |
陈展俊 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2;林圣富 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2 |
主权项 |
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地址 |
美国 |