发明名称 炉氛围活化方法及设备
摘要 本发明涉及一种气体喷射器,其中包括在气体喷射器中气体在注入热处理炉室之前经过高压/低电流放电区。气体的电活化促进了气体、炉腔中的气体和室内工件之间期望的反应。优选的是,热电极是带电的而气体喷射器的其他部分和炉子是接地的。
申请公布号 TWI397611 申请公布日期 2013.06.01
申请号 TW097117283 申请日期 2008.05.09
申请人 气体产品及化学品股份公司 美国 发明人 比格尼 朱勒奇;罗伯特 艾尔斯沃斯 诺;约翰 路易士 格林
分类号 C23C8/68;C23C8/20 主分类号 C23C8/68
代理机构 代理人 陈展俊 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2;林圣富 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2
主权项
地址 美国