再生溅镀靶材及其制作方法

摘要

本发明系一种再生溅镀靶材的制作方法，其系包括提供一回靶材，其含有一背面、一溅镀蚀面及一周缘，该溅镀蚀面包含至少一溅镀蚀面沟槽；于该回靶材之背面进行机械加工前处理；于该回靶材之溅镀蚀面上及其溅镀蚀面沟槽内、以及回靶材之周缘覆盖与该回靶材之组成成分相同之原料粉末，并进行预压及烧结之处理，以获得该再生溅镀靶材。本发明能控制该再生溅镀靶材内的回靶材比重，使得第一次回靶成分之比重逐渐下降，达到汰旧换新，并保持该再生靶材溅镀之品质。