可清洁水刀或风刀出口的光学制程设备

摘要

一种光学制程设备，其包含一清除装置、一刮除件以及一传动装置。清除装置用来自出口射出液体或气体以清除进入该光学制程设备的基板上的化学试剂。刮除件系伸入该出口且厚度小于该出口之宽度。传动装置装设于该清除装置上并连接于该刮除件，用来带动该刮除件沿该出口来回移动，以清除该出口间的堵塞。