用以在极紫外线光源中递送驱动雷射光束之系统与方法

摘要

本文所描述的一极紫外线(EUV)光源装置可包含一雷射光束，其沿一光束路径传播，该光束路径的至少一部分沿一线性轴对齐；一材料，其用以与在一照射位置上的该雷射光束相互作用以产生一EUV光发射电浆；一第一反射体，其具有一焦点，该第一反射体被定位以使该焦点在该线性轴上，该第一反射体接收沿该光束路径的雷射光；及一第二反射体，其接收由该第一反射体反射的雷射光且将该雷射光指向该照射位置。