发明名称 |
防电弧保护装置以及其组装方法 |
摘要 |
一种防电弧保护装置,装设于电浆反应室之室壁上,室壁具有至少一第一开口,防电弧保护装置包括保护板与嵌入式保护件。保护板配置于室壁内面上,且保护板具有第二开口以暴露出第一开口以及部分室壁内面,保护板靠近第二开口之缘部构成顶压部。嵌入式保护件覆盖第二开口所暴露的部分室壁内面并暴露出第一开口,嵌入式保护件邻接保护板处具有嵌合部,保护板藉由顶压部紧密地顶压在嵌入式保护件的嵌合部上,使得嵌合部位于顶压部与室壁内面之间,且嵌入式保护件远离室壁内面的表面与保护板远离室壁内面的表面相互切齐。 |
申请公布号 |
TWI398196 |
申请公布日期 |
2013.06.01 |
申请号 |
TW097125231 |
申请日期 |
2008.07.04 |
申请人 |
友达光电股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行二路1号 |
发明人 |
苏丞乾 |
分类号 |
H05H1/00 |
主分类号 |
H05H1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行二路1号 |