多晶粒测试探针装置

摘要

一种多晶粒测试探针装置，系设有一探针座，该探针座具有至少一间隔固定部将该探针座中分割为数个分割区，相邻之分割区对应于待测积体电路晶圆上相邻之晶粒分布；多数个第一探针环设该探针座周围并延伸至相邻分割区之间，多数个第二探针自该探针座外通过该探针座周围与该间隔固定部相邻之处更延伸至该间隔固定部上以朝相邻二该分割区之间弯折有预定之角度，使该些第二探针之针尖及力臂悬设于相邻二该分割区之间以相对并列分布。