制造电浆反应器部件之方法及设备

摘要

在此提供一种制造氧化钇部件的方法。在一个实施例中，该方法包括烧结氧化钇样本，机械加工所烧结的样本以形成部件，以及以预定的加热速度加热部件来退火部件，将该部件保持在恒定退火温度下，以及以预定的冷却速度冷却该部件。