基板对准装置的眼识系统以及该系统之控制对焦的方法

摘要

一种用于控制基板对准装置的眼识系统的焦距的方法，基板对准装置使用相机区段所拍摄的图像来对准基板，所述方法包含：通过相机区段拍摄图像以用于焦距控制；将储存图像与为焦距控制而拍摄的图像进行比较，且将对应于为焦距控制而拍摄的图像的储存图像设置为比较图像，其中储存图像包含在相机区段的焦距位置处拍摄的焦距图像以及移动图像，移动图像中的每一者具有拍摄位置与焦距位置之间的距离长度的资讯；计算对应于比较图像的距离长度的资讯；以及使相机区段移动所计算的距离长度。