卷取式真空成膜装置

摘要

本发明提供一种不会造成装置之大型化且可防止起因于带电粒子从除电单元漏出而造成基材之热变形的卷取式真空成膜装置。;本发明之卷取式真空成膜(蒸镀)装置10系在冷却用筒辊14与除电单元23之间具备用以捕捉从前述除电单元23往冷却用筒辊14之带电粒子的电荷捕捉体25。藉此，阻止从除电单元23漏出之带电粒子到达冷却用筒辊14，而抑制施加在冷却用筒辊14之与基材密接用的偏压电位之变动，以稳定地保持对基材12之静电力。藉此，由于稳定地保持基材12与冷却用筒辊14之间的密接力，因而防止基材12之热变形。