准分子灯

摘要

课题;提供在放电空间内发生准分子放电而放射真空紫外光的准分子灯，藉由熔融石英玻璃来构成放电容器的一部分的准分子灯。;解决手段;一种准分子灯，是属于内侧管(4)与外侧管(3)朝同轴方向所配置的双重管构造的石英玻璃所成的放电容器(2)，及介于形成该放电容器(2)的石英玻璃的状态设有一对电极(5)、(6)所成，在放电空间(S)内封入有氙气体所成，在放电容器(2)的放电空间内发生准分子放电的准分子灯(1)，其特征为：内侧管(4)是藉由熔融石英玻璃所形成，外侧管(3)是藉由合成石英玻璃所形成。