应用于双图案微影技术的布局分解方法

摘要

一种应用于双图案微影技术的布局分解方法，系将初始布局图案中各次图案以至少一单位图案形成，并且将各该单位图案分别以第一色层和第二色层表示，且该初始布局图案之水平及垂直方向相邻的各单位图案之色层不同，以利用交错色层进行图案冲突移除；对该交错色层之各该次图案以各该次图案间具有最少的图案缝合数量形成第一布局图案；以及对该第一布局图案以各该次图案内具有最少的图案缝合数量形成第二布局图案。